Horno vertical 1100C KSL-1100X-L-VT Descripción
Elhorno vertical 1100C es un horno vertical de vacío con una cámara tubular de cuarzo de Ø200ר190×H425 mm, con bridas y válvulas de acero inoxidable. Este horno está equipado con una turbobomba Torr que le permite alcanzar un nivel de vacío de 10^-5 Torr. Diseñado para la calcinación o el recocido de obleas semiconductoras (de hasta 8 pulgadas de diámetro), funciona en vacío o en diversas atmósferas de gas, alcanzando temperaturas de hasta 1100°C.
Especificaciones del horno vertical 1100C KSL-1100X-L-VT
Características
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- Aislamiento de fibra de alúmina de gran pureza alrededor de la cámara
- Tres lados del horno se calientan, con velocidad de calentamiento rápida y campo de temperatura uniforme.
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Parámetros básicos
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- Temperatura máxima de calentamiento 1100℃ (< 1hr)
- Temperatura de calentamiento continuo 1000°C
- Velocidad de calentamiento recomendada: 10°C /min
- Elemento calefactor: Alambre de resistencia Ni-Cr-Al
- Termopar: Tipo K
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Potencia
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220V AC, 7.5 KW, 50Hz
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Control de temperatura
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- Se incluye controlador digital de temperatura con certificación NRTL
- Control proporcional-integral-derivativo (control PID) y función de autoajuste
- 50 segmentos programados con pasos de rampa, refrigeración y vivienda
- Alarma de sobretemperatura incorporada y alarma de fallo del termopar
- Precisión de control de temperatura de +/- 1 ºC
- Puerto de comunicación DB9 para PC incluido para conexión a PC
- El controlador de temperatura Eurotherm está disponible con un coste adicional con una precisión de +/-0,1 ºC
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Dimensión total
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980 mm Largo * 730 mm Ancho * 880 mm Alto
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Peso neto
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125 kg
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Garantía
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- Un año de garantía limitada con soporte de por vida.
- ATENCIÓN: Los daños causados por el uso de gases corrosivos y ácidos no están cubiertos por la garantía limitada de un año de SAM.
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Certificado
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- Certificado CE
- Certificación NRTL o CSA disponible con coste adicional.
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Horno Vertical 1100C KSL-1100X-L-VT Aplicaciones
- Fabricación de semiconductores: Utilizado para la fabricación de dispositivos semiconductores como obleas de silicio, MEMS (sistemas microelectromecánicos) y células fotovoltaicas. Los hornos verticales se emplean para procesos como la oxidación, la difusión, el LPCVD (depósito químico en fase vapor a baja presión) y el recocido.
- Deposición de películas finas: Se utiliza para la deposición de películas finas sobre sustratos mediante técnicas como CVD (deposición química en fase vapor), PVD (deposición física en fase vapor) y ALD (deposición de capas atómicas). Los hornos verticales proporcionan un entorno controlado para controlar con precisión el grosor y la composición de las películas.
- Producción de células solares: Se aplica en la fabricación de células solares y módulos fotovoltaicos. Los hornos verticales se utilizan para procesos como la difusión, la deposición de revestimientos antirreflectantes y la metalización para mejorar la eficiencia y el rendimiento de las células solares.
Horno vertical 1100C KSL-1100X-L-VT Embalaje
Nuestro Horno Vertical 1100C KSL-1100X-L-VT se manipula cuidadosamente durante el almacenamiento y el transporte para preservar la calidad de nuestro producto en su estado original.