GR0976 Bandejas de grafito recubiertas de carburo de silicio

Bandejas de grafito recubiertas de carburo de silicio Descripción

Las bandejas degrafito recubiertas de carburo de silicio se crean recubriendo la superficie de grafito isotrópico altamente purificado con una fina capa de carburo de silicio mediante el proceso de deposición química en fase vapor (CVD). Las bandejas de grafito revestidas con SiC se utilizan ampliamente en semiconductores y revestimientos.

El proceso CVD proporciona una pureza extremadamente alta y una densidad teórica de revestimiento de SiC sin porosidad. Además, como el carburo de silicio es muy duro, puede pulirse hasta obtener una superficie similar a un espejo. El recubrimiento CVD de carburo de silicio (SiC) ofrece varias ventajas, como una superficie de pureza ultra alta y una gran resistencia al desgaste. Como los productos recubiertos tienen un gran rendimiento en circunstancias de alto vacío y alta temperatura, son ideales para aplicaciones en la industria de semiconductores y otros entornos ultralimpios.

Stanford Advanced Materials también suministra bandejas de grafito recubiertas de carburo de silicio.

Especificación de las Bandejas de Grafito Recubiertas de Carburo de Silicio

Bandejas de grafito recubiertas de carburo de silicio Ventajas

• La capa de carburo de silicio es muy dura y estable a altas temperaturas. Tiene una excelente resistencia a la oxidación, la corrosión y los productos químicos.
• El grafito revestido con SiC evita la separación y dispersión de las partículas de grafito, así como la emisión de gases e impurezas en la matriz de grafito.

Aplicaciones de las bandejas de grafito con revestimiento de carburo de silicio

• El recubrimiento de carburo de silicio CVD ya se ha aplicado en industrias de semiconductores, como bandejas MOCVD, RTP y cámaras de grabado de óxido, ya que el nitruro de silicio tiene una gran resistencia al choque térmico y puede soportar plasma de alta energía.
• El carburo de silicio se utiliza ampliamente en semiconductores y revestimientos.