Elementos calefactores compuestos de PBN/PG Descripción
Elnitruro de boro pi rolítico se utiliza como sustrato para el elemento calefactor de PBN. El grafito pirolítico ( PG) se coloca en la superficie de las placas de PBN mediante el método CVD como conductor y calentador. En función de los distintos requisitos de las aplicaciones, el elemento calefactor de PG puede cubrirse de nuevo con PBN o simplemente permanecer abierto.
Dado que tanto el PG como el PBN son extremadamente puros (99,99% o incluso más) y muy estables en el vacío o en una atmósfera inerte, los elementos calefactores compuestos de PBN/PG podrían ser muy duraderos y mantener limpia la cámara. Podría calentarse a 1600℃ en muy poco tiempo sin emisión de ningún componente gaseoso. También tiene buena resistencia al ácido y al álcali. Estos elementos calefactores son productos ideales para la industria de semiconductores y aplicaciones que requieren alta temperatura, alto vacío y alta pureza.
Especificaciones de los elementos calefactores compuestos de PBN/PG
Diámetro:
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0.5"~4", o personalizado
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Densidad aparente
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2,0-2,19g/cm3
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Max. Temperatura de trabajo (vacío)
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2400℃
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Resistividad volumétrica (Ω-cm)
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3.11*1011
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Resistencia a la flexión (Mpa)
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243.63
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Conductividad térmica (W/M-k)
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43-60
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Servicio personalizado:
Forma
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Oblea
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Rectángulo
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Tubo
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Tamaño (mm)
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φ380 MAX
1.0-2.5
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265*265 MAX
1.0-2.5
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φ265 MAX
400 MAX Longitud
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Muestra
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Elementos calefactores compuestos de PBN/PG Aplicaciones
- Calentamiento de sustratos de semiconductores (en los campos de MBE, MOCVD, recubrimiento por pulverización catódica, CVC, etc.)
- Calentamiento de sustratos superconductores.
- Calentamiento de muestras de microscopio electrónico.
- Calentamiento de evaporación de metales.
Embalaje de los elementos calefactores compuestos de PBN/PG
Nuestros elementos calefactores compuestos de PBN/PG se manipulan cuidadosamente durante el almacenamiento y el transporte para preservar la calidad de nuestro producto en su estado original.
25Kg/Bolsa